Vakuumugnar är vakuumvärmebehandlingsugnar, som är uppdelade enligt applikationsutrustningen och inkluderar följande typer:
Vakuumhärdningsugn, vakuumlödningsugn, vakuumglödgningsugn, vakuummagnetiseringsugn, vakuumhärdningsugn, vakuumsintringsugn, vakuumdiffusionssvetsugn, vakuumförkolningsugn, etc.
Enligt uppvärmningsmetoden är vakuumugnen indelad i vakuummotståndsugn, vakuuminduktionsugn, vakuum-elektrisk ljusbågsugn, vakuum-självförbrukande elektrisk ljusbågsugn, elektronstråleugn (även känd som elektronisk bombardemang) och plasmaugn.