1200C PECVD-system med tre värmezoner
1200C PECVD-system med tre värmezoner

1200C PECVD-system med tre värmezoner

SK2-CVD-12TPB4 är en rörugn för PECVD-system, bestående av 300W eller 500W RF-strömförsörjning, flerkanaligt precisionsflödessystem, vakuumsystem och rörugn. Den vanligaste temperaturen är 1100 grader Celsius eller lägre, och dess huvudsakliga egenskaper är låg deponeringstemperatur, snabb hastighet, bra filmkvalitet, färre pinholes och mindre benägna att spricka. En idealisk enhet för att odla nanotrådar eller förbereda olika tunna filmer med CVD-metoden.
Skicka förfrågan
Funktion

 

● Max temperatur RT-1200 grad

● Split typ av ugn, du kan öppna ugnen.

● Kan införa mer än 2 kanaler gas, med en vakuumgrad på 10Pa med hjälp av en mekanisk pump och en 500W RF-strömförsörjning för att förbättra signalen.

● Högkvalitativa aluminiumoxidkeramiska fiberisoleringsmaterial

● Temperaturkontrollnoggrannhet ±1 grad

● Med övertemperaturlarmfunktion

● Kylfläkt kan sänka temperaturen på höljet

 

Modell

SK2-CVD-12TPB4

Mått: Standard värmezonslängd (mm)

440 mm

Mått: Standard rördiameter (mm)

∮60 mm

Max.temperatur

1200 grader, Kontinuerlig arbetstemperatur 1100 grader.

Spänning (V)

220 1P

Typ av termoelement

K

Värmeelement

HRE Motståndstråd i legering

Temp.Precision

±1 grad

Uppvärmningshastighet

0-30 grader/min fri justering

Kammarmaterial

Använder avancerat högkvalitativt aluminiumoxid mikrokristallint fibermaterial

Ugnsstruktur

Dubbellagers luftkyld struktur, yttemperaturen är mindre än 60 grader

Temperaturkontroll

Intelligent PID-temperaturkontrollinstrument, 30 programsegment, SSR-kontroll, PID-parameter självinställningsfunktion; program temperaturhöjning, programmera värmekonservering, program kyla

500W RF-strömförsörjning

Uteffekt: 5-500W ±1 grad

RF-frekvens: 13,56 MHz ±0,005 %

Reflekterad effekt: upp till 100W

Match: Automatisk

RF-gränssnitt: 50Ω, N-typ

Kylning: luftkylning

Strömförsörjning: AC 208-240V, 50/60HZ

4 gaskanals precisionsflödessystem

1. Flödeshastighet i full skala (5, 10, 30, 50, 100, 200, 300, 500) ML/min. 10 l/min.

2. Ventiltyp: Solenoldventil.

3. Ventilens viloläge: Normalt stängd.

4. Differenstryck: (50-300)kpa

5. Tryckmotstånd: 3mpa.

6. Drifttemperatur: 5-45 grad

7. Material: rostfritt stål 316L.

Vakuum system

5*10-3Pa

KF25 snabbkoppling, bälg i rostfritt stål, manuell klaffventil och fläns, vakuumpump

Högre vakuumsystem kan också utrustas som tillval.

image001

VÄLKOMMEN OEM/ODM

 

Standardtillbehör

 

Termohandskar|Degelkrok|Termoelement|Rörblock|Användarmanual |Verktyg|Vakuumpump| Kvartsrör |Fläns |Tätningsring |10mm gasslang |Flänsstöd, Gassystem, RF-effekt.

 

Frivillig

 

Olika värmezoner för ditt val;

LCD-pekskärmskontroll för val

RS485/USB-port för att ansluta dator för att välja.

 

Detaljbild för CVD-PECVD

 

image003
500W RF-strömförsörjning
image005
Vakuum system
image007
4 gaskanals precisionsflödessystem

 

Ansökan

 

Denna enhet används främst för att odla nanotrådar eller förbereda olika tunnfilmsväxter med CVD-metoden.

 

Garanti

 

Ett års garanti och livslång teknisk support

Speciella tips:

1. Förbrukningsmaterial som värmeelement, kvartsrör, provdegel etc. omfattas inte av garantiperioden.

2. Skador orsakade av användning av frätande gas och sur gas täcks inte av garantin.

 

Populära Taggar: 1200c tre värmezoner pecvd-system, Kina 1200c tre värmezoner pecvd-system tillverkare, leverantörer