Utrustning för uppvärmning i vakuummiljö. Ugnskammaren leds till högvakuumpumpsystemet i en ugn förseglad med ett metall- eller kvartsglaslock. Ugnens vakuumgrad kan nå 133×(10-2~10-4)Pa. Värmesystemet i ugnen kan värmas upp direkt genom elektrisk uppvärmning av motståndsugnstråd (såsom volframtråd), eller det kan värmas upp med högfrekvent induktion. Den maximala temperaturen kan nå ca 3000 grader. Det används främst för keramisk bränning, vakuumsmältning, avgasning och glödgning av elektriska vakuumdelar, lödning av metalldelar och keramisk metalltätning.